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產品詳情
簡單介紹：
檢測對象
H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
檢測濃度
1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
檢測原理
專線型半導體式
采樣方式
自動吸引式
應用行業
半導體制造
詳情介紹：
產品描述：半導體材料氣體檢測
可檢測微量的半導體材料氣體泄漏，可對半導體工廠等使用毒性氣體的場所進行泄漏檢測，
也可對氫氣相關設備提供**保障。
01.產品特點
· 小型·輕量
· 可以檢查非常微量的氣體泄漏
· 適合氫氣相關設備的**防護
· 搭載的泵有自動停止功能
· 搭載[自動氣體排氣模式]功能
· 保護等級約為IP22（JIS C 0920）※安裝皮套時
02.產品用途
· 半導體工廠/石油化學工廠等
· 在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測
03.產品參數
