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    產品詳情
    • 產品名稱:日本HONDA本多石英振動體類型清洗機重慶代理

    • 產品型號:石英振動體清洗機[高頻率]|W-357-1MQG-SKC
    • 產品廠商:HONDA本多
    • 產品價格:0
    • 折扣價格:0
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    簡單介紹:
    石英振動體清洗機[高頻率]|W-357-1MQG-SKC
    詳情介紹:

    石英振動體類型

    下一代清洗技術,實現低損害和高清潔度

    2006年,世界上**臺石英振動體超聲清洗裝置投入實際使用。
    在這種方法中,通過在石英振動體上疊加超聲波對半導體晶圓進行清洗。
    與批量清洗和流水清洗相比,可以減少化學品的使用量,由于只有石英玻璃與液體接觸,沒有墊片等橡膠材料與液體接觸,因此能保持較高的清潔度。
    石英振動體有不同的形狀,以適應不同的用途,能夠根據需要進行有效的清洗,如低損傷清洗、大面積清洗、斜面(邊緣表面)和缺口(晶圓邊緣表面的缺口)的清洗等。

    概述

    特長

    對具有細微結構的晶片進行低損傷清洗
    ■通過在石英振動元件上疊加超聲波對半導體晶片進行清洗。
    將超聲波振動從石英振動元件通過化學溶液傳播到半導體晶片上,接觸區的化學溶液振動,加速去除表面污染。
    ■清潔度高,對半導體晶圓的損害*小。
    與使用橡膠材料(如墊片)的設備相比,使用石英與化學溶液接觸,可以確保清潔,而不會有橡膠溶出。
    ■震蕩器冷卻功能通過用氣體(如氮氣)冷卻震蕩器,可以實現穩定的連續工作,沒有頻率波動。
    冷卻還能確保沒有溫度的突然變化,從而延長使用壽命。

    用途

    膠體殘留物的**
    封邊和灰化后的聚合物**
    柵電極極清洗
    CMP后的清洗

    規格

    ■發振器

    類型 W-357-1MQG-SKC
    振蕩模式 單頻震蕩
    額定輸出 12W
    標稱震蕩頻率 1MHz
    電源輸入 AC100V~240V
    單相50/60Hz 300VA
    外部尺寸
    WxDxHmm
    180×250×100
    (不包括凸出部分,包括橡膠腳)
    質量 2.2kg

    ●可變的輸出范圍:0W到12W(振動體的允許輸入:當使用空氣吹掃冷卻時,連續10W)。
    ●周圍操作環境:溫度:15至35℃,濕度:10至85%。
    ●外部驅動觸點額定值:超聲波振蕩控制(控制側)觸點輸入:12 V DC 16 mA min.
    報警輸出(主單元)觸點容量:24 V DC 0.5 A
    ■附屬電纜:電源線(100V為2米/200V為3米),控制線(5米)x4

    ■振動體

    流量 未指明定
    全長 159mm
    卡盤尺寸 φ24mm
    照射面積 24cm2
    質量 600g

    ●工作液體溫度范圍:20-50℃。
    ●換能器:PZT
    ●材料:振動器:石英玻璃,墊片:硅橡膠,外殼:PCTFE
    ●線長:輸出線1.5米+繼電器線3.5米
    ●冷卻氣體接頭:兼容管(外徑?6)
    *2MHz和3MHz也可根據特別訂單提供。

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