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通過采用電機(jī)驅(qū)動，可以實(shí)現(xiàn)1mm單位的行程設(shè)定，實(shí)現(xiàn)更高精度的擴(kuò)展。
更換環(huán)尺寸只能通過夾具更換來處理，鋁制重塑環(huán)，夾環(huán)，特殊規(guī)格環(huán)等可根據(jù)客戶需求進(jìn)行修改。

●通過觸摸面板控制
●膜預(yù)熱機(jī)構(gòu)（與定時器）
●階段加熱（高100℃）
●階段行程調(diào)整機(jī)構(gòu)（大80毫米，1毫米范圍）
●階段上升速度可變機(jī)構(gòu)
●膜自動切斷機(jī)構(gòu)
的至大●晶圓尺寸8英寸
●各種膨脹環(huán)，框架兼容
●通過電機(jī)驅(qū)動升高平臺，可實(shí)現(xiàn)高精度行程設(shè)定

規(guī)范

電源	AC 100 V 5 A，50/60 Hz
重量	30公斤
大小	650（D）×400（W）×369（H）mm

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產(chǎn)品名稱：重慶直供HUGLE藤宮晶圓擴(kuò)展裝置西南區(qū)客戶共享資源

HS-1840

產(chǎn)品概述

規(guī)范