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產品詳情
簡單介紹：
重慶直供HUGLE藤宮全自動EUV POD清潔系統成都及西南區客戶共享資源
重慶內藤機械設備有限公司
重慶直供HUGLE藤宮全自動EUV POD清潔系統成都及西南區客戶共享資源
詳情介紹：
全自動EUV POD清潔系統REN
它是用于EUV暴露的EUV POD的全自動清潔裝置，這是新的曝光技術。除了拆卸/重新組裝內部POD和外部POD之外，每個POD都使用單獨的專用CH進行清潔/干燥。
完全無人值守的操作也是可能的。
采用獨特的清潔/干燥技術實現納米級顆粒去除30年，作為半導體設備容器清潔設備制造商。
產品概述
-足跡設計
，專有清洗技術通過超精密清洗
和高效的干燥系統完全干燥實現通過
，全自動POD開放的交叉污染預防由
-RSP200兼容
機器人手自清潔系統內置
-獨立專用室**
規范
裝置主體：1230（寬）×2900（深）×2300（高）毫米（不包括突起）
